トップメニュー
詳細資料検索
資料紹介
OPACの利用案内
Myライブラリ
トップメニュー
>
本サイトにはJavaScriptの利用を前提とした機能がございます。
お客様の環境では一部の機能がご利用いただけない可能性がございますので、ご了承ください。
資料詳細
詳細資料検索
ジャンル別検索
1 件中、 1 件目
プラズマプロセス技術
貸出可
プラズマ・核融合学会/編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4
新着本お知らせ
本棚へ
所蔵
所蔵件数は
1
件です。現在の予約件数は
0
件です。
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
閲覧室
/501.4/プ/
117018754
成人一般
可能
ページの先頭へ
資料詳細
タイトル
プラズマプロセス技術
タイトルカナ
プラズマ プロセス ギジュツ
副書名
ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者
プラズマ・核融合学会
/編
著者カナ
プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者
森北出版
出版年
2017.1
ページ数
7,273p
大きさ
22cm
一般件名
材料科学
,
プラズマ物理学
ISBN13桁
978-4-627-77561-9
言語
jpn
分類記号
501.4
内容紹介
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ページの先頭へ