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はじめての半導体リソグラフィ技術 貸出可

岡崎 信次／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.7/ﾊ/ 116491127 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名 現場の即戦力
著者 岡崎 信次 ／著, 鈴木 章義 ／著, 上野 巧 ／著  
著者カナ オカザキ シンジ,スズキ アキヨシ,ウエノ タクミ
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数 10,301p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
ISBN13桁 978-4-7741-4939-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
著者紹介 (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。

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