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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.7/ｻ/ 116472416 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
タイトルカナ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
叢書名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
著者カナ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。

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