資料詳細

Polymers for microelectronics 貸出可

Larry F. Thompson／ed. -- American Chemical Society -- 1994 -- 578.4

所蔵

所蔵件数は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
地下書庫	Y/578/P/	119089613	成人海外	可能

タイトル	Polymers for microelectronics
タイトルカナ	POLYMERS FOR MICROELECTRONICS
副書名	Resists and dielectrics
叢書名	ACS Symposium Series
叢書副書名	537
著者	Larry F. Thompson ／ed., C. Grant Willson ／ed., Seiichi Tagawa ／ed.
著者カナ	THOMPSON LARRY F,WILLSON C GRANT,TAGAWA SEIICHI
出版者	American Chemical Society
出版年	1994
ページ数	12、571p
大きさ	24cm
ISBN	0-8412-2721-7
言語	eng
分類記号	578.4