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「薄膜」のキホン 貸出可

麻蒔 立男／著 -- ソフトバンククリエイティブ -- 2010.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.8/ｱ/ 116355736 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 「薄膜」のキホン
タイトルカナ ハクマク ノ キホン
副書名 原子に迫る超微細・超高密度の世界
叢書名 イチバンやさしい理工系
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者カナ アサマキ タツオ
出版者 ソフトバンククリエイティブ
出版年 2010.9
ページ数 190p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
ISBN13桁 978-4-7973-5713-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.8
内容紹介 薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。
著者紹介 1934年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。90～2010年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士。著書に「真空のはなし」など。

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