日本真空協会関西支部/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.5 -- 534.93

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資料詳細

タイトル わかりやすい真空技術
タイトルカナ ワカリヤスイ シンクウ ギジュツ
著者 日本真空協会関西支部 /編  
著者カナ ニホン シンクウ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.5
ページ数 241,5p
大きさ 21cm
一般件名 真空技術
ISBN 4-526-04185-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 534.93
内容紹介 1.真空の概念 2.真空計測 3.真空ポンプ1 4.真空ポンプ2 5.真空装置の構成 6.リークテスト 7.真空装置の管理 8.真空用材料 9.真空応用技術<ソフトカバー>