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半導体CMP用語事典 禁帯出

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
参考図書 R/549.7/ﾊ/ 116098971 成人一般 持禁 iLisvirtual

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タイトル 半導体CMP用語事典
タイトルカナ ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン
著者 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 ／編  
著者カナ セイミツ コウガクカイ
出版者 オーム社
出版年 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
一般件名 集積回路-辞典
ISBN13桁 978-4-274-20612-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。

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