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電子線リソグラフィ教本 貸出可

横山 浩／監修 -- オーム社 -- 2007.6 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.7/ﾃﾞ/ 115867798 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 電子線リソグラフィ教本
タイトルカナ デンシセン リソグラフィ キョウホン
著者 横山 浩 ／監修, 秋永 広幸 ／編  
著者カナ ヨコヤマ ヒロシ,アキナガ ヒロユキ
出版者 オーム社
出版年 2007.6
ページ数 13,210p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 電子線
ISBN13桁 978-4-274-20415-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。

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