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    税務大学校研究部
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ナノテクノロジーとレジスト材料 貸出可

山岡 亞夫／監修 -- シーエムシー出版 -- 2007.4 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
JSR /549.7/ﾅ/ 116001363 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル ナノテクノロジーとレジスト材料
タイトルカナ ナノテクノロジー ト レジスト ザイリョウ
叢書名 CMCテクニカルライブラリー
著者 山岡 亞夫 ／監修  
著者カナ ヤマオカ ツグオ
出版者 シーエムシー出版
出版年 2007.4
ページ数 6,253p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , ナノテクノロジー
ISBN13桁 978-4-88231-921-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 ナノテクノロジーについて、トップダウンの技術とボトムアップ技術、およびこれらの中間に存在して、日常的に役立っているものについて取り上げる。また、それぞれの周辺の材料やプロセスに関して整理する。

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