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図解でわかる半導体製造装置 貸出可

菊地 正典／監修 -- 日本実業出版社 -- 2007.4 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.8/ｽﾞ/ 115855579 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 図解でわかる半導体製造装置
タイトルカナ ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
著者 菊地 正典 ／監修  
著者カナ キクチ マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
ISBN13桁 978-4-534-04217-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.8
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。

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