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半導体のための真空技術入門 貸出可

宇津木 勝／著 -- 工業調査会 -- 2007.2 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
JSR /549.8/ｳ/ 116001389 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 半導体のための真空技術入門
タイトルカナ ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
副書名 現場で役立つ基礎と応用
著者 宇津木 勝 ／著  
著者カナ ウツギ マサル
出版者 工業調査会
出版年 2007.2
ページ数 219p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 真空技術
ISBN13桁 978-4-7693-1262-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.8
内容紹介 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
著者紹介 1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。

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