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液浸リソグラフィのプロセスと材料貸出可

東木達彦／監修 -- シーエムシー出版 -- 2006.10 -- 549.7

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
JSR	/549.7/ｴ/	115999773	成人一般	可能

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資料詳細

タイトル	液浸リソグラフィのプロセスと材料
タイトルカナ	エキシンリソグラフィノプロセストザイリョウ
叢書名	エレクトロニクス材料・技術シリーズ
著者	東木達彦／監修
著者カナ	ヒガシキタツヒコ
出版者	シーエムシー出版
出版年	2006.10
ページ数	5,243p
大きさ	27cm
一般件名	リソグラフィー
ISBN	4-88231-584-X
言語	jpn
分類記号	549.7
内容紹介	液浸リソグラフィに携わる、露光装置、トラック、レジスト材料、マスク、シミュレーションなど、第一線で活躍する技術者・研究者があらゆる角度から最新の技術開発動向、課題、将来展望などを解説。

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