斎藤 秀俊/監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2006.6 -- 501.48

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /501.4/デ/ 115896540 成人一般 可能 iLisvirtual

資料詳細

タイトル DLC膜ハンドブック
タイトルカナ ディーエルシーマク ハンドブック
著者 斎藤 秀俊 /監修, 大竹 尚登 /編集委員, 中東 孝浩 /編集委員  
著者カナ サイトウ ヒデトシ,オオタケ ナオト,ナカヒガシ タカヒロ
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年 2006.6
ページ数 2,13,601,5,20p
大きさ 27cm
一般件名 炭素 , 薄膜
ISBN 4-86043-125-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 501.48
内容紹介 工業材料から医療機器まで多様な分野で注目を浴びるDLC膜について、その特徴から、成膜方法、実用事例、構造解析、プロセス反応解析、物性、研究の最前線や今後の展望までを紹介する。