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はじめてのナノインプリント技術 貸出可

谷口 淳／著 -- 工業調査会 -- 2005.12 -- 549

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
JSR /549/ﾀ/ 116001330 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル はじめてのナノインプリント技術
タイトルカナ ハジメテ ノ ナノインプリント ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
著者 谷口 淳 ／著  
著者カナ タニグチ ジュン
出版者 工業調査会
出版年 2005.12
ページ数 215p
大きさ 21cm
一般件名 ナノインプリント
ISBN 4-7693-1248-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549
内容紹介 ナノインプリントの技術の発展や背景、企業動向や将来展望についてまとめ、半導体製造技術と機械加工技術といった幅広い分野との絡みを整理して、必要最小限で理解が進むように解説した入門書。
著者紹介 東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻博士後期課程修了。博士(工学)。東京理科大学基礎工学部電子応用工学科講師。専門分野はナノテクノロジー、ナノインプリント技術など。

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