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ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
貸出可
大塚 二郎/著 -- 工業調査会 -- 2005.2 -- 532
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1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
閲覧室
/532/オ/
115630824
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
タイトルカナ
ナノテクノロジー ト チョウセイミツ イチギメ ギジュツ
著者
大塚 二郎
/著
著者カナ
オオツカ ジロウ
出版者
工業調査会
出版年
2005.2
ページ数
189p
大きさ
21cm
一般件名
工作機械
,
自動制御
,
ナノテクノロジー
ISBN
4-7693-2175-9
言語
jpn
分類記号
532
内容紹介
分解能0.2ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの技術動向、事例研究を掲載する。
著者紹介
東京工業大学大学院博士課程機械工学専攻修了。工学博士。静岡理工科大学教授。精密工学会の超精密位置決め専門委員会委員長。精密・超精密位置決め、精密・超精密加工を研究。
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