大塚 二郎/著 -- 工業調査会 -- 2005.2 -- 532

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資料詳細

タイトル ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
タイトルカナ ナノテクノロジー ト チョウセイミツ イチギメ ギジュツ
著者 大塚 二郎 /著  
著者カナ オオツカ ジロウ
出版者 工業調査会
出版年 2005.2
ページ数 189p
大きさ 21cm
一般件名 工作機械 , 自動制御 , ナノテクノロジー
ISBN 4-7693-2175-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 532
内容紹介 分解能0.2ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの技術動向、事例研究を掲載する。
著者紹介 東京工業大学大学院博士課程機械工学専攻修了。工学博士。静岡理工科大学教授。精密工学会の超精密位置決め専門委員会委員長。精密・超精密位置決め、精密・超精密加工を研究。