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レジスト材料 貸出可

伊藤 洋／著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.7/ｲ/ 115625998 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル レジスト材料
タイトルカナ レジスト ザイリョウ
叢書名 高分子先端材料One Point
著者 伊藤 洋 ／著  
著者カナ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年 2005.2
ページ数 4,104p
大きさ 19cm
一般件名 リソグラフィー , 感光性樹脂
ISBN 4-320-04372-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
分類記号 549.7
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
著者紹介 東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。

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