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MEMSのはなし 貸出可

前田 龍太郎／編著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.1 --

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /530/ﾏ/ 115624421 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル MEMSのはなし
タイトルカナ メムス ノ ハナシ
叢書名 Science and technology
著者 前田 龍太郎 ／編著, 池原 毅 ／著, 小林 健 ／著, 単 学伝 ／著  
著者カナ マエダ リュウタロウ,イケハラ ツヨシ,コバヤシ タケシ,タン ガクデン
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.1
ページ数 6,126p
大きさ 19cm
一般件名 マイクロマシン
ISBN 4-526-05404-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
言語 jpn
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。

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