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進化するマイクロマシン
貸出可
マイクロマシンセンター/監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530
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1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
閲覧室
/530/シ/
115604183
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
進化するマイクロマシン
タイトルカナ
シンカ スル マイクロマシン
副書名
産業化のロードマップとナノとの融合
著者
マイクロマシンセンター
/監修,
μM産業化研究会
/編
著者カナ
マイクロマシン センター,ミューエム サンギョウカ ケンキュウカイ
出版者
日刊工業新聞社
出版年
2004.11
ページ数
295p
大きさ
21cm
一般件名
マイクロマシン
ISBN
4-526-05227-2
分類記号
530
内容紹介
マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
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