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進化するマイクロマシン 貸出可

マイクロマシンセンター／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /530/ｼ/ 115604183 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 進化するマイクロマシン
タイトルカナ シンカ スル マイクロマシン
副書名 産業化のロードマップとナノとの融合
著者 マイクロマシンセンター ／監修, μM産業化研究会 ／編  
著者カナ マイクロマシン センター,ミューエム サンギョウカ ケンキュウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.11
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
ISBN 4-526-05227-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 530
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。

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