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資料詳細

はじめての半導体ナノプロセス貸出可

前田和夫／著 -- 工業調査会 -- 2004.2 -- 549.8

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
JSR	/549.8/ﾏ/	116001405	成人一般	可能

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タイトル	はじめての半導体ナノプロセス
タイトルカナ	ハジメテノハンドウタイナノプロセス
叢書名	ビギナーズブックス
著者	前田和夫／著
著者カナ	マエダカズオ
出版者	工業調査会
出版年	2004.2
ページ数	239p
大きさ	21cm
一般件名	半導体 , ナノテクノロジー
ISBN	4-7693-1225-3
分類記号	549.8
内容紹介	ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。

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