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微細加工技術応用編貸出可

高分子学会／編 -- エヌ・ティー・エス -- 2003.7 -- 549.95

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
JSR	/549.9/ﾋﾞ/	116000076	成人一般	可能

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資料詳細

タイトル	微細加工技術応用編
タイトルカナ	ビサイカコウギジュツ
叢書名	ポリマーフロンティア21シリーズ
著者	高分子学会／編
著者カナ	コウブンシガッカイ
巻の書名	フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用
出版者	エヌ・ティー・エス
出版年	2003.7
ページ数	208,7p
大きさ	27cm
一般件名	オプトエレクトロニクス , 半導体
ISBN	4-86043-026-3
分類記号	549.95
内容紹介	2003年3月開催の「ポリマーフロンティア21 微細加工技術(応用編)」を講演録として編集。SPMを利用したナノスケールでの加工、高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用など6講演を収録。

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内容一覧

タイトル	著者名	ページ
SPMを利用したナノスケールでの加工	橋詰富博／著	3-30
高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用	松浦徹／著	31-62
立体マイクロマシニングの光MEMSへの応用	羽根一博／著	63-102
マイクロ光造形法を利用した医療デバイス・化学ICチップへの応用	生田幸士／著	103-146
インプリント技術の現状と展望	松井真二／著	147-184
有機半導体トランジスタの最近の進展	南方尚／著	185-208

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