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はじめての半導体リソグラフィ技術
貸出可
岡崎 信次/著 -- 工業調査会 -- 2003.6 -- 549.7
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所蔵件数は
1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
JSR
/549.7/ハ/
116000803
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
はじめての半導体リソグラフィ技術
タイトルカナ
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名
ビギナーズブックス
著者
岡崎 信次
/著,
鈴木 章義
/著,
上野 巧
/著
著者カナ
オカザキ シンジ,スズキ アキヨシ,ウエノ タクミ
出版者
工業調査会
出版年
2003.6
ページ数
305p
大きさ
21cm
一般件名
リソグラフィー
,
半導体
ISBN
4-7693-1224-5
分類記号
549.7
内容紹介
光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
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