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分光エリプソメトリー 貸出可

藤原 裕之／著 -- 丸善 -- 2003.6 -- 433.57

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /433.5/ﾌ/ 115528457 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 分光エリプソメトリー
タイトルカナ ブンコウ エリプソメトリー
著者 藤原 裕之 ／著  
著者カナ フジワラ ヒロユキ
出版者 丸善
出版年 2003.6
ページ数 251p
大きさ 21cm
一般件名 スペクトル分析 , 偏光
ISBN 4-621-07253-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 433.57
内容紹介 分光エリプソメトリーは簡便な高精度測定法としての地位を確立し、半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を研究者にわかりやすく解説した入門書。
著者紹介 東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。電子技術総合研究所任期付研究員等を経て、現在、産業技術総合研究所研究員。

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