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資料詳細

薄膜作製応用ハンドブック貸出可

権田俊一／監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2003.4 -- 549.8

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
地下書庫	/549.8/ﾊ/	115896516	成人一般	可能

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資料詳細

タイトル	薄膜作製応用ハンドブック
タイトルカナ	ハクマクサクセイオウヨウハンドブック
著者	権田俊一／監修, 小川正毅／編集委員, 多賀康訓／編集委員
著者カナ	ゴンダシュンイチ,オガワマサキ,タガヤスノリ
出版者	エヌ・ティー・エス
出版年	2003.4
ページ数	1冊
大きさ	27cm
一般件名	薄膜
ISBN	4-86043-019-0
分類記号	549.8
内容紹介	重要な薄膜技術および評価技術、広い分野の各種産業への応用をわかりやすく、実務的に解説。薄膜材料の特性と特徴、薄膜の作製と加工、薄膜・表面・界面の分析と評価、薄膜技術の応用と展望を述べる。95年刊の21世紀版。

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