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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
地下書庫	/549.8/ﾊ/	115491425	成人一般	可能

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資料詳細

タイトル	薄膜工学
タイトルカナ	ハクマク コウガク
著者	金原 粲 ／監修, 白木 靖寛 ／編著, 吉田 貞史 ／編著
著者カナ	キンバラ アキラ,シラキ ヤスヒロ,ヨシダ サダフミ
出版者	丸善
出版年	2003.3
ページ数	310p
大きさ	21cm
一般件名	薄膜
ISBN	4-621-07143-2
分類記号	549.8
内容紹介	薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。薄膜技術の基本事項、最新技術について、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説。

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