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光マイクロマシン 貸出可

沢田 廉士／共著 -- オーム社 -- 2002.11 -- 549.95

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.9/ﾋ/ 115448458 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 光マイクロマシン
タイトルカナ ヒカリ マイクロマシン
著者 沢田 廉士 ／共著, 羽根 一博 ／共著, 日暮 栄治 ／共著  
著者カナ サワダ レンシ,ハネ カズヒロ,ヒグラシ エイジ
出版者 オーム社
出版年 2002.11
ページ数 424p
大きさ 22cm
一般件名 オプトエレクトロニクス , マイクロマシン
ISBN 4-274-03589-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.95
内容紹介 半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。
著者紹介 九州大学大学院修士課程修了。現在、NTTマイクロシステムインテグレーション研究所勤務。

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