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真空ハンドブック 禁帯出

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
参考図書 R/534.9/ｼ/ 115294456 成人一般 持禁 iLisvirtual

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タイトル 真空ハンドブック
タイトルカナ シンクウ ハンドブック
著者 アルバック ／編  
著者カナ アルバック
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術-便覧
ISBN 4-274-08727-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 534.93
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。

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