トップメニュー >

資料詳細

はじめての半導体製造材料貸出可

遠藤伸裕／著 -- 工業調査会 -- 2002.4 -- 549.8

所蔵

所蔵件数は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
JSR	/549.8/ﾊ/	116000829	成人一般	可能

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル	はじめての半導体製造材料
タイトルカナ	ハジメテノハンドウタイセイゾウザイリョウ
叢書名	ビギナーズブックス
著者	遠藤伸裕／著, 小林伸好／著, 若宮亙／著
著者カナ	エンドウノブヒロ,コバヤシノブヨシ,ワカミヤワタル
出版者	工業調査会
出版年	2002.4
ページ数	190p
大きさ	21cm
一般件名	半導体
ISBN	4-7693-1210-5
分類記号	549.8
内容紹介	現在のシリコン半導体製造プロセスでは、実に様々な材料が使用されている。これら半導体製造材料を構造とプロセスにそって解説。材料名の羅列を避け、初心者向けに、半導体材料の物理的イメージに主眼をおいてまとめる。

ページの先頭へ