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はじめての半導体洗浄技術 貸出可

小川 洋輝／著 -- 工業調査会 -- 2002.3 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
JSR /549.8/ｵ/ 116000811 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体洗浄技術
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
著者 小川 洋輝 ／著, 堀池 靖浩 ／著  
著者カナ オガワ ヒロキ,ホリイケ ヤスヒロ
出版者 工業調査会
出版年 2002.3
ページ数 276p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 洗浄法
ISBN 4-7693-1212-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。

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