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VLSIプロセス技術 貸出可

小林 稔／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2002.3 -- 549.7

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タイトル VLSIプロセス技術
タイトルカナ ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ
副書名 高歩留りのための問題点とその解決
著者 小林 稔 ／著, 中島 蕃 ／著, 垂井 康夫 ／監修  
著者カナ コバヤシ ミノル,ナカジマ シゲル,タルイ ヤスオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2002.3
ページ数 169p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
ISBN 4-526-04905-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.7
内容紹介 LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。
著者紹介 元日本電信電話会社、NEL勤務。工学博士。

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