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ビジュアル真空技術 貸出可

平谷 雄二／著 -- コロナ社 -- 2001.10 -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /534.9/ﾋ/ 114900475 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル ビジュアル真空技術
タイトルカナ ビジュアル シンクウ ギジュツ
著者 平谷 雄二 ／著  
著者カナ ヒラタニ ユウジ
出版者 コロナ社
出版年 2001.10
ページ数 193p
大きさ 21cm
一般件名 真空技術
ISBN 4-339-00736-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 534.93
内容紹介 真空装置を使って結晶成長、薄膜を形成する研究室や職場に新しく配属された人を対象にした書。真空装置の心臓部のポンプと感覚器官にあたる真空計について述べる。真空技術でよく使われる式を導出し、適宜演習問題を付す。
著者紹介 東北大学大学院工学研究科博士課程修了(電子工学専攻)。古河電気工業(株)入社、現在に至る。東北大学工学博士。

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