渡辺 英夫/著 -- コロナ社 -- 2001.1 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.8/ワ/ 114568850 成人一般 可能 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 半導体工学
タイトルカナ ハンドウタイ コウガク
叢書名 電気・電子系教科書シリーズ
著者 渡辺 英夫 /著  
著者カナ ワタナベ ヒデオ
出版者 コロナ社
出版年 2001.1
ページ数 148p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
ISBN 4-339-01190-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 集積回路の科学的・技術的なバックグラウンドとなる半導体工学について、特にプロセス技術を詳しく説明。各章の最後には関連する設問を設けた高等専門学校の電気・電子系の学科の3・4年生を対象としたテキスト。
著者紹介 東北大学大学院工学研究科博士課程修了。東北大学助教授、仙台電波工業高等専門学校教授などを経て、現在同学校校長。