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はじめての半導体プロセス
貸出可
前田 和夫/著 -- 工業調査会 -- 2000.12 -- 549.8
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所蔵
所蔵件数は
1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
JSR
/549.8/マ/
116000852
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
はじめての半導体プロセス
タイトルカナ
ハジメテ ノ ハンドウタイ プロセス
叢書名
ビギナーズブックス
著者
前田 和夫
/著
著者カナ
マエダ カズオ
出版者
工業調査会
出版年
2000.12
ページ数
310p
大きさ
21cm
一般件名
半導体
ISBN
4-7693-1192-3
分類記号
549.8
内容紹介
過去半世紀、停滞することなく高集積化・高密度化・高性能化を続けてきた半導体デバイス。その進歩を常に支えてきた半導体製造技術における半導体プロセスについて解説した入門書。
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