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半導体製造装置用語辞典
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日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 549.8
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請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
地下書庫
R/549.8/ハ/
114768476
成人一般
持禁
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資料詳細
タイトル
半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者
日本半導体製造装置協会
/編
著者カナ
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者
日刊工業新聞社
出版年
2000.11
ページ数
588p
大きさ
22cm
一般件名
半導体-辞典
ISBN
4-526-04666-3
分類記号
549.8
内容紹介
半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。
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