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超精密洗浄技術の開発 貸出可

角田 光雄／監修 -- シーエムシー -- 2000.9 -- 576.5

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /576.5/ﾁ/ 114549330 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 超精密洗浄技術の開発
タイトルカナ チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
叢書名 CMC books
著者 角田 光雄 ／監修  
著者カナ ツノダ テルオ
出版者 シーエムシー
出版年 2000.9
ページ数 247p
大きさ 21cm
一般件名 洗浄法
ISBN 4-88231-083-X 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 576.5
内容紹介 精密洗浄と超精密洗浄に関し、定義・メカニズム・評価から様々な洗浄システムの解説及び有機溶剤系・水系・アルコール系などの洗浄剤の動向等を詳述。92年刊「超精密洗浄技術」の普及版。

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