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はじめての半導体製造装置 貸出可

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 1999.3 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.8/ﾏ/ 114440928 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル はじめての半導体製造装置
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
叢書名 ビギナーズブックス
著者 前田 和夫 ／著  
著者カナ マエダ カズオ
出版者 工業調査会
出版年 1999.3
ページ数 254p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
ISBN 4-7693-1169-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。

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