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    蜂須賀光彦
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半導体結晶成長 貸出可

大野 英男／編著 -- コロナ社 -- 1999.2 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.8/ｵ/ 114422959 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 半導体結晶成長
タイトルカナ ハンドウタイ ケッショウ セイチョウ
著者 大野 英男 ／編著  
著者カナ オオノ ヒデオ
出版者 コロナ社
出版年 1999.2
ページ数 265p
大きさ 22cm
一般件名 半導体 , 結晶成長
ISBN 4-339-00704-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 1.走査型トンネル顕微鏡によるシリコン固相エピタキシー過程のその場観察 2.Si-Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御 3.GaAsの単分子成長機構 ほか8章

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