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電子・イオンビームハンドブック 禁帯出

日本学術振興会第132委員会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.10 -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
参考図書 R/549.1/ﾃﾞ/ 113935472 成人一般 持禁 iLisvirtual

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タイトル 電子・イオンビームハンドブック
タイトルカナ デンシ イオン ビーム ハンドブック
著者 日本学術振興会第132委員会 ／編  
著者カナ ニホン ガクジュツ シンコウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.10
ページ数 963p
大きさ 22cm
一般件名 電子線-便覧 , イオンビーム-便覧
ISBN 4-526-04247-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.1
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。

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