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LIGAプロセス 貸出可

先端加工機械技術振興協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.8 -- 532

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /532/ﾘ/ 113972418 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル LIGAプロセス
タイトルカナ リガ プロセス
副書名 進展する三次元超微細加工技術
著者 先端加工機械技術振興協会 ／編  
著者カナ センタン カコウ キカイ ギジュツ シンコウ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.8
ページ数 272,4p
大きさ 22cm
一般件名 機械工作
ISBN 4-526-04223-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 532
内容紹介 LIGA技術の原理と歴史的変遷、実際の製作工程と要素技術、試作された応用例、国内外のLIGA関連施設、LIGA技術の経済性と市場性の将来展望など、LIGA技術を基礎から応用までまとめる。

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