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実用高分子レジスト材料の新展開 貸出可

-- シーエムシー -- 1997.1 -- 578.4

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /578.4/ｼﾞ/ 113423453 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 実用高分子レジスト材料の新展開
タイトルカナ ジツヨウ コウブンシ レジスト ザイリョウ ノ シンテンカイ
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
出版者 シーエムシー
出版年 1997.1
ページ数 336p
大きさ 27cm
一般件名 感光性樹脂
ISBN 4-88231-157-7 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 578.4
内容紹介 リソグラフィーによる超微細加工分野での現状と将来についての全貌を述べるとともに、半導体分野以外でのフォトポリマーの応用、又、材料として要求にどのように応えているかなどについても解説する。

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