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ナノ構造作製技術の基礎
貸出可
曽根 純一/編 -- 丸善 -- 1996.11 -- 549.8
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1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
地下書庫
/549.8/ナ/
113396766
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
ナノ構造作製技術の基礎
タイトルカナ
ナノ コウゾウ サクセイ ギジュツ ノ キソ
叢書名
シリーズ物性物理の新展開
著者
曽根 純一
/編
著者カナ
ソネ ジュンイチ
出版者
丸善
出版年
1996.11
ページ数
185p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
,
結晶成長
ISBN
4-621-04231-9
分類記号
549.8
内容紹介
ナノ構造の物性を正しく理解しその工学的応用を図るという観点で、物理的基礎から最先端の技術まで、豊富な図・写真を含む実験結果を交えて、わかりやすく解説する。
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