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薄膜作成の基礎 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1996.3 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.8/ｱ/ 113231419 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 薄膜作成の基礎
タイトルカナ ハクマク サクセイ ノ キソ
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者カナ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1996.3
ページ数 357,4p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜 , 真空技術
ISBN 4-526-03831-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。1977年刊の第3版。

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