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ウルトラクリーンULSI技術 貸出可

大見 忠弘／著 -- 培風館 -- 1995.12 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
閲覧室 /549.7/ｵ/ 112863378 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル ウルトラクリーンULSI技術
タイトルカナ ウルトラ クリーン ユーエルエスアイ ギジュツ
叢書名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者 大見 忠弘 ／著  
著者カナ オオミ タダヒロ
出版者 培風館
出版年 1995.12
ページ数 366p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
ISBN 4-563-03615-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.7
内容紹介 幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者がクリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説。

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