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電子・イオンビーム工学
貸出可
高木 俊宜/[ほか]執筆 -- 電気学会 -- 1995.3 -- 549.1
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1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
地下書庫
/549.1/デ/
112784335
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
電子・イオンビーム工学
タイトルカナ
デンシ イオン ビーム コウガク
叢書名
電気学会大学講座
著者
高木 俊宜
/[ほか]執筆
著者カナ
タカギ トシノリ
出版者
電気学会
出版年
1995.3
ページ数
321p
大きさ
22cm
一般件名
電子線
,
イオンビーム
ISBN
4-88686-217-9
分類記号
549.1
内容紹介
1.電子とイオン 2.電子の発生とビーム形成 3.イオンの発生と引き出し 4.荷電粒子の運動とビーム輸送 5.電子の密度変調と速度変調 6.荷電粒子ビームと固体表面との相互作用 7.荷電粒子ビーム応用装置
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