高木 俊宜/[ほか]執筆 -- 電気学会 -- 1995.3 -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.1/デ/ 112784335 成人一般 可能 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 電子・イオンビーム工学
タイトルカナ デンシ イオン ビーム コウガク
叢書名 電気学会大学講座
著者 高木 俊宜 /[ほか]執筆  
著者カナ タカギ トシノリ
出版者 電気学会
出版年 1995.3
ページ数 321p
大きさ 22cm
一般件名 電子線 , イオンビーム
ISBN 4-88686-217-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.1
内容紹介 1.電子とイオン 2.電子の発生とビーム形成 3.イオンの発生と引き出し 4.荷電粒子の運動とビーム輸送 5.電子の密度変調と速度変調 6.荷電粒子ビームと固体表面との相互作用 7.荷電粒子ビーム応用装置