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表面・界面の分析と評価
貸出可
平木 昭夫/共著 -- オーム社 -- 1994.9 -- 428.8
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1
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
地下書庫
/428.8/ヒ/
111906228
成人一般
可能
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資料詳細
タイトル
表面・界面の分析と評価
タイトルカナ
ヒョウメン カイメン ノ ブンセキ ト ヒョウカ
叢書名
応用物理学シリーズ
著者
平木 昭夫
/共著,
成沢 忠
/共著
著者カナ
ヒラキ アキオ,ナルサワ タダシ
出版者
オーム社
出版年
1994.9
ページ数
141p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
ISBN
4-274-12976-4
分類記号
428.8
内容紹介
半導体技術の核となる半導体-金属界面での反応の分析・評価を軸に、著者の経験をふまえつつ新たな研究開発に向けた様々な示唆に富む内容となっている。
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