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超微細加工の基礎 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.3 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.8/ｱ/ 112543582 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 超微細加工の基礎
タイトルカナ チョウビサイ カコウ ノ キソ
副書名 半導体製造技術
著者 麻蒔 立男 ／著  
著者カナ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1993.3
ページ数 261,4p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
ISBN 4-526-03284-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 超微細加工技術は、非常に多くの技術が集成されて成り立っている。本書は、これらの技術の基礎を平易に解説した入門書である。

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