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スパッタ薄膜 貸出可

小林 春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.2 -- 549

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549/ｺ/ 112537626 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル スパッタ薄膜
タイトルカナ スパッタ ハクマク
副書名 基礎と応用
著者 小林 春洋 ／著  
著者カナ コバヤシ ハルヒロ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1993.2
ページ数 172,7p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
ISBN 4-526-03273-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549
内容紹介 低気圧希ガス(主にアルゴン)放電によるスパッタ方式で作られる薄膜は、デバイスその他において大変重要になってきている。あいまいな経験による作成基準ではなく、理論的なスパッタ条件をもとめ、技術者、大学生におくる。

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