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半導体ドライエッチング技術貸出可

徳山巍／編著 -- 産業図書 -- 1992.10 -- 549.7

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
地下書庫	/549.7/ﾄ/	112479886	成人一般	可能

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タイトル	半導体ドライエッチング技術
タイトルカナ	ハンドウタイドライエッチングギジュツ
叢書名	集積回路プロセス技術シリーズ
著者	徳山巍／編著
著者カナ	トクヤマタカシ
出版者	産業図書
出版年	1992.10
ページ数	394p
大きさ	22cm
一般件名	集積回路
ISBN	4-7828-5628-8
分類記号	549.7
内容紹介	1.序論 2.超LSI技術とドライエッチング 3.ドライエッチングの基礎 4.最新のドライエッチング技術(シリコン) 5.最新のドライエッチング技術(化合物半導体) 6.ドライエッチングとレジスト技術ほか5章

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