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薄膜化技術 貸出可

和佐 清孝／著 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /549.8/ﾜ/ 112450226 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル 薄膜化技術
タイトルカナ ハクマクカ ギジュツ
著者 和佐 清孝 ／著, 早川 茂 ／著  
著者カナ ワサ キヨタカ,ハヤカワ シゲル
出版者 共立出版
出版年 1992.9
ページ数 282p
大きさ 22cm
一般件名 薄膜
ISBN 4-320-08497-7 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 549.8
内容紹介 ここ10年間「薄膜化技術」の進展は著しく、21世紀にかけての基幹科学技術としても不可欠の存在になった。今回の改訂版では、「薄膜化技術」の古い技術分野を削除するとともに、ペロブスカイト層状薄膜や人工超格子などについて追加増補している。

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