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部品・デバイスのための薄膜技術入門貸出可

小林春洋／著 -- 総合電子出版社 -- 1992.7 -- 549.8

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
地下書庫	/549.8/ｺ/	112342969	成人一般	可能

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資料詳細

タイトル	部品・デバイスのための薄膜技術入門
タイトルカナ	ブヒンデバイスノタメノハクマクギジュツニュウモン
著者	小林春洋／著, 細川直吉／著
著者カナ	コバヤシハルヒロ,ホソカワナオキチ
出版者	総合電子出版社
出版年	1992.7
ページ数	303p
大きさ	22cm
一般件名	薄膜
ISBN	4-915449-66-1
分類記号	549.8
内容紹介	1.薄膜技術は何故重要か? 2.薄膜形成方法 3.薄膜評価法 4.薄膜の基本特性とその要因 5.良い薄膜を作る条件 6.エレクトロニクスデバイスにおける薄膜応用例

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