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クリーンルームにおける化学安全ハンドブック 貸出可

日本空気清浄協会／編 -- テクネット -- 1991.11 -- 509.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
地下書庫 /509.8/ｸ/ 112196472 成人一般 可能 iLisvirtual

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タイトル クリーンルームにおける化学安全ハンドブック
タイトルカナ クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
著者 日本空気清浄協会 ／編  
著者カナ ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ
出版者 テクネット
出版年 1991.11
ページ数 375p
大きさ 27cm
一般件名 安全管理 , 半導体 , クリーンルーム
ISBN 4-924801-06-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類記号 509.8
内容紹介 半導体基板製造工程など各工程に用いられ、工程から発生する化学物質についてその特性と危険性、生体影響及び化学物質の自動連続測定法、衛生管理・防災管理、気相・液相における化学物質除去装置等、クリーンルームにおける化学物質取扱い安全指針の解説書。

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